Istighfar adalah bentuk mashdar dari istaghfara-yustaghfiru. Akar katanya dari ghafara yang menunjukkan makna "menutup". Al-Ghafru artinya as-satru (menutup). Al-Gafru dan al-ghufran adalah semakna. Dikatakan, ghafarallaahu dzanbahu ghufran wa maghfiratan wa ghufraanan.
Raghib berkata, Al-Ghafru artinya mengenakan sesuatu yang melindunginya dari kotoran. Contohnya seperti kalimat ighfir tsaubaka fid du'a (kenakan pakaianmu ketika berdoa). Al-Ghufran dan al-maghfirah dari Alloh artinya adalah Alloh melindungi hamba-Nya agar tidak disentuh oleh adzab. Istighfar adalah permohonan untuk memperoleh hal itu dengan ucapan dan tindakan. Dikatakan pula ighfiruu haadzal amra bi maghfiratihi, artinya tutuplah perkara ini dengan hal yang seharusnya digunakan sebagai penutupnya.
Al-Ghafuur, Al-Ghaffaar dan Al-Ghaafir adalah sebagian dari nama-nama Alloh yang indah (as-maul husna), artinya adalah yang menutup dosa hamba hamba-Nya, serta mengampuni kesalahan dan dosa mereka.
Ghazali berkata, "Al-Ghaffar adalah yang menampakkan kebaikan dan menutupi keburukan. dosa-dosa termasuk bagian darikeburukan keburukan yang ditutupi oleh Alloh dengan tirai yang menutupinya di dunia, dan dihindarkan hukumannya di akhirat"
Khatib berkata, "Al-Ghaffaar adalah yang Mengampuni dosa pada hamba-Nya dari waktu ke waktu. Setiap kali seorang hamba mengulangi taubat dari dosa, maka setiap kali itu pula maghfiroh atau ampunan diberikan. Al-Ghaffar artinya Yang menutupi dosa para hamba-Nya, yang mengenakan pada mereka busana kasih sayang-Nya, Serta tidak mencabik penutupnya dengan menimpakan hukuman yang akan mempertontonkan keburukannya di hadapan mereka"